品牌:深圳方达 | 型号:FD--9B | 工作方式:高速万能研磨机 |
类型:圆盘式研磨机 | 适用物料:石英晶体、硅片、砷化镓片、陶瓷片、光电玻璃 | 应用领域:精加工 |
驱动功率:4.5KW | 外形尺寸:1200×16150×2400m | 重量:2300kg |
驱动方式:电驱动 | 作用对象:研磨盘 | 规格:1 |
主要用途:
该双面研磨机主要用于石英晶体、硅片、砷化镓片、陶瓷片、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。
工作原理:
2.本系列研磨机为超高精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效***。
2.本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
特 点
1. 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2. 采用四个电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。
3. 修面机采用伺服马达驱动,能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳,得到的平面修整效果非好。
4. 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等***技术,系统的响应速度更快、更***,并具有远程监控,远程维护功能;
5. 本系列研磨机有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。
技术参数:
型 号FD--9B
研磨盘规格:φ635×φ240×12t
加工工件尺寸φ200mm
工件平面度(25mm)±0.2u以内
工件平行度(25mm)±0.4u以内
工件粗糙度(石英材料)0.4nm以内
研磨盘修面后平行度±2u以内
游轮规格φ230mm
游轮数量5 枚
下研磨盘转速0~140rpm
下研磨盘电机功率2.2kw 3相380V
上研磨盘研磨转速0~60rpm
上研磨盘电机功率1.5kw 3相380V
上研磨盘修面转速0~140rpm
上研磨盘修面电机功率0.75kw 3相380V
太阳轮转速0~60rpm
太阳轮电机功率0.75kw 3相380V
外齿轮转速0~30rpm
外齿轮电机功率0.75kw 3相380V
修面机速度200mm/分钟
修面机伺服马达功率750w
外形尺寸:1200×16150×2400mm
重量:2300kg
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